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潔凈工程等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)通常依據(jù)不同的行業(yè)、應(yīng)用場(chǎng)景以及相關(guān)的規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)來(lái)劃分,以下是一些常見(jiàn)的潔凈工程ISO等級(jí)標(biāo)準(zhǔn):國(guó)標(biāo) ISO 14644-1:
- ISO 1級(jí):每立方米空氣中≤0.1個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。這是非常高的潔凈等級(jí),常用于對(duì)環(huán)境要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造、高精度電子元件生產(chǎn)等領(lǐng)域,例如制造集成電路的微電子工業(yè)。
- ISO 2級(jí):該等級(jí)的潔凈度要求也非常高,具體的粒子濃度限制比 ISO 1級(jí)略高一些,但仍然屬于很高潔凈度的范疇。
- ISO 3級(jí):每立方米空氣中≤1個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。常用于一些對(duì)潔凈度要求很高的實(shí)驗(yàn)室、精-密儀器制造等場(chǎng)所。
- ISO 4級(jí):每立方米空氣中≤10個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。在半導(dǎo)體制造的一些特定環(huán)節(jié)、高的等級(jí)光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)等場(chǎng)景會(huì)應(yīng)用到這個(gè)等級(jí)的潔凈室。
- ISO 5級(jí):每立方米空氣中≤100個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物??蛇m用于一些對(duì)環(huán)境潔凈度要求較高的醫(yī)藥生產(chǎn)、生物實(shí)驗(yàn)等,比如無(wú)菌藥品的生產(chǎn)中,B 級(jí)背景區(qū)域的靜態(tài)潔凈度要求就是 ISO 5級(jí)。
- ISO 6級(jí):每立方米空氣中≤1000個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。常用于一般的電子裝配、食品加工等對(duì)潔凈度有一定要求的場(chǎng)所。
- ISO 7級(jí):每立方米空氣中≤10000個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。在食品飲料生產(chǎn)、普通制藥等行業(yè)應(yīng)用較多,例如一些藥品生產(chǎn)過(guò)程中重要程度較低操作步驟的潔凈區(qū)可能會(huì)采用 ISO 7級(jí)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
- ISO 8級(jí):每立方米空氣中≤100000個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。適用于對(duì)潔凈度要求相對(duì)較低的工業(yè)生產(chǎn),如部分機(jī)械加工、普通化工生產(chǎn)等。
- ISO 9級(jí):每立方米空氣中≤1000000個(gè)直徑≥0.5μm的顆粒物。該等級(jí)的潔凈度較低,一般用于一些對(duì)環(huán)境要求不太嚴(yán)格的工業(yè)場(chǎng)所。
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